Sumitomo Heavy Industries wprowadzi maszyny implantacyjne SIC w Japonii
Według zagranicznych doniesień medialnych spółka zależna Sumitomo Heavy Industries, Sumitomo Ion Technology, wprowadzi maszyny implantacyjne jonowe dla półprzewodników mocy węgla krzemu (SIC) na rynku już w 2025 r.Większość urządzeń używanych w procesie SIC jest taka sama jak tradycyjne linie produkcyjne krzemowe, ale ze względu na wysoką twardość SIC wymagane jest specjalne urządzenia produkcyjne, takie jak maszyny implantacyjne jonowe w wysokiej temperaturze, maszyny do rozpylania filmów węglowych, wysoka produkcja masowej, wysoka produkcja produkcji masowej-Wśród nich obecność maszyn implantacyjnych jonów o wysokiej temperaturze jest obecność maszyn implantacyjnych jonów o wysokiej temperaturze.
Według raportu sprzęt do implantacji jonowej wstrzykuje jony zanieczyszczeń, takie jak fosfor i bor do opłatek, aby zmienić jego właściwości elektryczne.W przypadku płytek krzemowych obróbka cieplna przeprowadza się po implantacji jonowej w celu przywrócenia krystaliczności.Jednak w przypadku SIC trudno jest przywrócić krystaliczność wyłącznie poprzez obróbkę cieplną po implantacji jonowej.Zwykłą metodą jest podgrzewanie układu SIC do około 500 stopni Celsjusza, a następnie wykonanie implantacji jonów i obróbki cieplnej.Ze względu na złożony proces pracy półprzewodniki SIC mają problem z niższą wydajnością niż półprzewodniki krzemu.
Tym razem technologia jonowa Sumitomo Heavy Industries planuje ulepszyć metodę implantacji jonów wypuszczonych produktów, przy jednoczesnym zachowaniu jakości SIC i zwiększaniu produkcji.
Ze względu na takie czynniki, jak wysoka trudność techniczna i trudna walidacja procesu, istnieją wysokie bariery konkurencyjne i wysokie koncentracja branży w branży maszyn implantacyjnych.Ogólnie rzecz biorąc, cały rynek jest zmonopolizowany głównie przez American Applied Materials Company i American Axcelis Company, co stanowi ponad 70% rynku globalnego.
Najnowsze dane z TrendForce Consulting pokazują, że SIC nadal przyspiesza penetrację na rynkach aplikacji, takich jak samochody i energia odnawialna, w których gęstość mocy i wydajność są niezwykle ważne.Ogólny popyt na rynku utrzyma trend wzrostu w nadchodzących latach i szacuje się, że wielkość rynku globalnego urządzenia SIC Power Device osiągnie 9,17 miliarda dolarów amerykańskich w 2028 r.
Tym razem technologia jonowa Sumitomo Heavy Industries planuje ulepszyć metodę implantacji jonów wypuszczonych produktów, przy jednoczesnym zachowaniu jakości SIC i zwiększaniu produkcji.
Ze względu na takie czynniki, jak wysoka trudność techniczna i trudna walidacja procesu, istnieją wysokie bariery konkurencyjne i wysokie koncentracja branży w branży maszyn implantacyjnych.Ogólnie rzecz biorąc, cały rynek jest zmonopolizowany głównie przez American Applied Materials Company i American Axcelis Company, co stanowi ponad 70% rynku globalnego.
Najnowsze dane z TrendForce Consulting pokazują, że SIC nadal przyspiesza penetrację na rynkach aplikacji, takich jak samochody i energia odnawialna, w których gęstość mocy i wydajność są niezwykle ważne.Ogólny popyt na rynku utrzyma trend wzrostu w nadchodzących latach i szacuje się, że wielkość rynku globalnego urządzenia SIC Power Device osiągnie 9,17 miliarda dolarów amerykańskich w 2028 r.